[分享]四種壓力傳感器的制作工藝流程

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【文章摘要】河南鄭州展瑞生產(chǎn)壓力變送器,小編在這里與您分享一下常用的四種壓力傳感器的不同工藝流程;常見的4種傳感器為擴(kuò)散硅傳感器,薄膜傳感器,厚膜傳感器,陶瓷傳感器;展瑞科技?jí)毫ψ兯推鲀x表產(chǎn)品服務(wù)熱線:0371-56708681,技術(shù)支持:13525518669!

壓力傳感器按執(zhí)照工藝可分為集成傳感器、薄膜傳感器、厚膜傳感器和陶瓷傳感器四種。下面簡(jiǎn)要說明下這四種制作工藝。

    集成壓力傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。

    薄膜壓力傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí)，同樣可將部分電路制造在此基板上。

    厚膜壓力傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是Al2O3制成的，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形。

    陶瓷壓力傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。

    完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷壓力傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

    每種壓力傳感器制造工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低，以及壓力傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

    展瑞科技鄭州公司專業(yè)生產(chǎn)壓力變送器儀表，常用的也是這4種傳感器；展瑞科技產(chǎn)品服務(wù)熱線：0371-56708681，技術(shù)支持：13525518669！

編輯｜zhanruitech    來源｜展瑞科技    時(shí)間｜2015-7-29